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케이나노 “반도체 수율, 나노 단위 미세 입자 모니터링으로 잡는다” [서울과기대기술지주 미래기업]
서울과학기술대학교 기술지주는 BRIDGE 3.0 사업을 통해 자회사의 기술 상용화와 시장 경쟁력을 높이고 있습니다. IT동아는 이러한 지원으로 성장 중인 기술지주 자회사들의 기술력, 사업화 성과, 기업가 정신을 소개합니다.케이나노 지형우 PM(왼쪽)과 이유선 연구원(오른쪽) / 출처=IT동아반도체 공정이 나노미터(nm, 10억 분의 1미터) 단위로 미세화되면서 이제는 이런 미세 입자까지 잡아내야 비로소 경쟁력 있는 반도체 수율을 확보할 수 있게 됐다. 이러한 반도체 제조 공정의 무결점을 목표로 혁신적인 모니터링 시스템을 개발한 스타
2026.02.20